ვაკუუმის კომპონენტები

თერმული დამუშავება ძირითადად მოიცავს ჟანგვის, დიფუზიის და ანეილირების პროცესებს.დაჟანგვა არის დანამატის პროცესი, რომლის დროსაც სილიკონის ვაფლები მოთავსებულია მაღალტემპერატურულ ღუმელში და ემატება ჟანგბადი მათთან რეაგირებისთვის ვაფლის ზედაპირზე სილიციუმის წარმოქმნის მიზნით.დიფუზია არის ნივთიერებების გადაადგილება მაღალი კონცენტრაციის ზონიდან დაბალი კონცენტრაციის რეგიონში მოლეკულური თერმული მოძრაობის გზით და დიფუზიის პროცესი შეიძლება გამოყენებულ იქნას დოპინგის სპეციფიკური ნივთიერებების სილიკონის სუბსტრატში, რითაც იცვლება ნახევარგამტარების გამტარობა.